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锂电池极片表面的缺陷主要包括以下几种: 1. 氧化膜:由于极片表面与空气接触,很容易形成氧化膜,特别是在高温环境下,氧化膜会更加严重。氧化膜的存在会导致电池的内阻增大,影响电池的性能。 2. 金属粒子:在极片的表面上可能存在金属粒子的残留或堆积,这些金属粒子可能来自制造过程中的杂质或污染物。金属粒子会导致电池内部短路或产生局部高热,影响电池的寿命和安全性能。 3. 气孔:在极片表面上可能存在气孔,气孔会影响电池的密封性能,导致电池内部的溶液或气体泄漏,进而影响电池的工作效率和寿命。 4. 脱落:极片表面的材料可能存在脱落或剥落现象,主要是因为极片与电极材料之间的粘附力不足,或者是制造过程中出现的缺陷。脱落会导致电池内部材料的损失和不均匀分布,影响电池的性能和寿命。 这些表面缺陷都会影响电池的性能、寿命和安全性能,因此在制造过程中需要严格控制和检测,以确保电池的质量和可靠性。
晶圆NOTCH轮廓检测是半导体制造中重要的检测环节,主要测量晶圆边缘、槽口(notch)的形状和尺寸,确保晶圆的质量和工艺精度。
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